◎ 被洗物可以Dry in & Dry out 在同一個腔體中,不需分開作業.
◎ 被洗物單邊進出, 機台尺寸小,省空間.
◎ 十種 recipe可以選擇,適合不同洗淨需求.
◎ 日、美系的噴嘴,節能與效率高.
◎ 清洗與乾燥時間都可以個別設定,製程彈性大.
◎ 獨特氣密門方式, 確保水氣不外洩.
◎ 加熱器過熱與過載雙重保護,確保機台與人員安全.
◎ 七吋大觸控面板,清晰好操作.
◎整合式操作面板,將各單元的數值(溫度, 壓力)傳回人機介面與前台面板.
◎加熱器過熱與過載雙重保護, 確保機台與人員安全.
◎漏水警報裝置,防止意外發生.
◎具有後透明窗,可以觀測清洗與乾燥過程.
◎靜電消除器設於閘門口上下各一組,消除靜電破壞 .
◎提供標準載台,以適合晶舟與其外蓋.
◎水可依個別洗淨需求,規劃製造特殊規格.

選配:
◎水阻計系統,監測洗淨狀況.
◎計量PUMP可依洗淨需求,自動加入清洗劑.
◎水PUMP壓力監測, 以防運轉空燒損壞.
◎機台下方防漏WPP水盤.
◎載台可以變化,以適合多變的被洗物.
◎加強側邊防漏,使水氣更不意外洩.
◎操作面板尺寸,升級成11吋.

用途:
◎適合半導體業,光電產業,電子,光學,機械,表面處理等行業洗淨.